Электроника и полупроводники

Типичные среды

Материалы для производства микроэлектроники

Кориолисовые расходомеры Mass-EXPERT обеспечивают прецизионное дозирование жидкостей и газов, используемых в полупроводниковых технологических процессах — от фотолитографии до химико-механической planarизации и очистки пластин.

Кислоты высокой чистоты

Серная кислота 96% (H₂SO₄), соляная кислота 37% (HCl), азотная кислота (HNO₃), фтороводородная кислота (HF), ортофосфорная кислота (H₃PO₄) — все в спецификации высокой чистоты (SEMI) для мокрых процессов травления и очистки пластин.

H₂SO₄ 96% HCl 37% HF HNO₃

Фоторезисты

Позитивные и негативные фоторезисты (i-line, KrF, ArF, EUV), антиотражающие покрытия (BARC, TARC), проявители и промывочные растворы. Точное дозирование объёмов от микролитров обеспечивает равномерность нанесения на пластину.

CMP-суспензии

Абразивные суспензии на основе коллоидного кремнезёма (SiO₂), оксида церия (CeO₂), глинозёма (Al₂O₃) для химико-механической planarизации. Устойчивость к абразивному износу и высокая точность поддержания расхода.

UPW и растворители

Сверхчистая вода (UPW, 18,2 МО·см), изопропанол (IPA), ацетон, N-метилпирролидон (NMP), пропиленгликольмонометиловый эфир (PGME), EBR-растворители для удаления фоторезиста.

UPW IPA NMP PGME

Специальные газы

Газообразные среды для полупроводниковых процессов

Помимо жидкостей, Mass-EXPERT применяется для дозирования специальных газов, используемых в CVD, PVD, травлении и других технологических этапах.

Инертные и защитные газы

Азот (N₂), аргон (Ar), гелий (He) — для создания инертной атмосферы, продувки линий, барботирования химических растворов и пневматического транспорта.

N₂ Ar He

Процессные газы

Тетрафторметан (CF₄), трифторид азота (NF₃), гексафторид вольфрама (WF₆), моносилан (SiH₄), аммиак (NH₃), закись азота (N₂O) и другие, используемые в CVD-осаждении и плазменном травлении.

CF₄ NF₃ SiH₄ NH₃ WF₆

Криогенные и сжатые газы

Сжиженные газы (LN₂, LAr) при низких температурах, а также сжатые газы высокого давления для процессов ионной имплантации и молекулярно-лучевой эпитаксии.

LN₂ LAr

Материалы трубок для полупроводниковой чистоты

Выбор материала измерительных трубок критичен для сохранения высокой чистоты технологических сред и предотвращения загрязнения пластин.

Хастеллой (C4/C276)

Высокая стойкость к кислотам и галогенам. Рекомендован для горячей H₂SO₄, HCl, фторсодержащих сред.

PTFE-футеровка

Химическая инертность и минимальное загрязнение среды. Идеальна для UPW и кислот высокой чистоты. Без выщелачивания.

Тантал

Максимальная коррозионная стойкость к самым агрессивным средам. Подходит для HF, царской водки, горячих концентрированных кислот.

Нержавеющая сталь 316L

Базовый материал для UPW, растворителей и менее агрессивных сред. Электрополированная поверхность снижает риск загрязнения.

Преимущества

Почему Mass-EXPERT для полупроводников?

Кориолисовая технология прямого массового измерения — оптимальное решение для требований микроэлектронного производства

Отсутствие генерации частиц

В конструкции нет подвижных частей, уплотнений, застойных зон и вращающихся элементов. Нулевой риск загрязнения технологических сред частицами износа.

Точность до 0,1%

Прецизионное дозирование с погрешностью не более 0,1% обеспечивает воспроизводимость нанесения фоторезиста, CMP-суспензий и кислот при обработке каждой пластины.

Материалы высокой чистоты

Хастеллой, PTFE-футеровка, тантал — материалы, исключающие выщелачивание примесей и соответствующее SEMI-стандартам для контакта с технологическими жидкостями.

Компактные малые DN

Сенсоры DN01–DN08 для сверхмалых расходов — от 0,1 г/мин. Идеальны для дозирования дорогостоящих фоторезистов и фотохимикатов, минимизируя потери материала.

Независимость от вязкости

Прямое измерение массы не зависит от изменений вязкости и плотности среды. Стабильная точность при дозировании CMP-суспензий, меняющих вязкость с температурой.

Чистовая промывка (CIP/SIP)

Гладкая проточная часть без застойных зон обеспечивает эффективную CIP/SIP-мойку. Минимальное время замены продукта и исключение перекрёстного загрязнения.

Нулевая генерация частиц — ключевое преимущество в микроэлектронике

В полупроводниковом производстве каждая посторонняя частица может стать причиной брака микросхемы. Расходомеры Mass-EXPERT не имеют подвижных частей, трущихся уплотнений или подшипников — единственным движущимся элементом является сама среда, колеблющаяся в измерительных трубках. Это полностью исключает генерацию частиц износа, гарантируя соответствие самым строгим требованиям класса чистоты ISO 1–3 и SEMI F57.

Рекомендуемые конфигурации

Оптимальные решения для полупроводниковой промышленности

Проверенные комбинации сенсоров, материалов и опций для типовых задач микроэлектронного производства

Малые сенсоры DN01–DN08

Компактные сенсоры с минимальным внутренним объёмом для прецизионного дозирования микролитровых объёмов дорогостоящих химикатов.

Диапазон расходов от 0,1 г/мин (DN01)
Минимальный мёртвый объём — снижение потерь реагента
Идеальны для фоторезистов и фотохимикатов
Компактная конструкция для встраивания в оборудование

Хастеллой / Тантал / PTFE

Коррозионностойкие материалы, обеспечивающие максимальную чистоту среды и устойчивость к агрессивным технологическим жидкостям.

Хастеллой C4/C276 — для кислот и галогенсодержащих сред
PTFE-футеровка — для UPW и кислот высокой чистоты
Тантал — для экстремально агрессивных сред (HF, царская водка)
Полное соответствие стандартам SEMI

Трансмиттер ME100

Компактный интеллектуальный трансмиттер для встраивания в полупроводниковое технологическое оборудование.

Поддержка Modbus RTU — интеграция с PLC/SCADA
Аналоговый выход 4–20 мА с HART-протоколом
Локальная регистрация данных и событий
Автоматическая диагностика состояния сенсора

Точность 0,1% для прецизионного дозирования

Высочайший класс точности для ответственных задач дозирования, где каждая капля реагента влияет на выход годных кристаллов.

Основная погрешность ±0,1% от измеряемого расхода
Повторяемость ±0,05%
Стабильность нулевой точки от 0,008 кг/ч
Динамический диапазон до 100:1

Технические возможности Mass-EXPERT для электроники

Массовый расход жидкостей: от 0,001 до 87 000 кг/ч (DN01–DN50)

Погрешность измерений: ±0,1% – ±0,2%

Диапазон плотности: 650–2000 кг/м³

Температура среды: от –196 до +350 °C

Рабочее давление: до 96 МПа

Выходные сигналы: 4–20 мА HART, RS-485 Modbus

Температура окружающей среды: –40 до +60 °C

Степень защиты: IP66/IP67

Готовы к внедрению?

Подберём конфигурацию для вашего процесса

Наши инженеры помогут выбрать оптимальный тип сенсора, материал трубок и дополнительное оснащение для вашей задачи в полупроводниковом производстве — от лабораторного стенда до промышленной линии обработки 300-мм пластин.

Связаться с нами На главную